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仪器型号:JS4S-80D

生产商:北京金盛微纳

应用范围:

    本设备仅有一个腔室,腔内配有4个靶位,采用DC/RF两种电源,靶材尺寸为直径80mm*6mm的圆靶材,样品尺寸直径小于4inch,样品台可连续公转。主要用于溅射各种金属及氧化物膜层。(备注:本实验室有各种金属及氧化物靶材供选择溅射)

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